FCVA混合式直列（In-line）系统
该系统基于模块化设计，可根据产能与工艺需求灵活增加或减少腔体数量。每个工艺腔体均配置 1 对 FCVA（过滤阴极真空电弧）源，并可搭配 1 对线性溅射源或圆柱旋转溅射源。
系统采用等离子体沉积技术，具备高度可配置性，可实现多种复合材料的高均匀性涂层。特别设计的大尺寸真空闸阀有效提升产线效率，单批处理节拍最快可达 5 分钟，并支持连续稳定运行超过 72 小时，满足高产能工业化生产需求。
核心特点
FCVA 技术
卓越的涂层性能与致密膜层质量
碳源 / 金属源
扩展多种涂层材料与应用类型
大尺寸真空闸阀
提升吞吐量，实现高效率生产
模块化设计
腔体数量可灵活增减，适配不同产能需求
可定制载台系统
基材夹持与尺寸配置按需求定制
人性化控制界面
操作简便，系统运行与工艺控制更直观
技术规格
| 配置项 | 说明 |
|---|---|
| 腔体尺寸 | 1.1（长）× 1.51（宽）× 1.06（高）m |
| 腔体材质 | SUS 304 |
| 工艺气体 | Ar、N₂（质量流量控制器 MFC） |
| 真空闸阀尺寸 | 1.082 × 0.8 m |
| 有效镀膜高度 | 0.5 m |
| 真空系统 | Pirani 规 + 高真空规 |
| 工艺配置 | 标准 / 定制 |
| 腔体配置 | 标准 / 定制 |
| 离子束源 | End-Hall 型离子束源，最高束压 2500 V，最大功率 1 kW |
| 溅射源 | 圆柱式或平面式 |
| FCVA-C 碳源 | 配弧电源，滤波电源 3 kW，阳极电源 1 kW |
| FCVA-M 金属源 | 配弧电源，滤波电源 3 kW，阳极电源 1 kW |
| 系统尺寸 | 约 12（长）× 7（宽）× 3（高）m（8 腔体配置） |
应用领域
常见问题 (FAQ)
FCVA 混合式直列系统适用于哪些应用
该系统适用于需要高均匀性、高产能与连续运行的工业化镀膜应用，广泛覆盖耐磨涂层、功能性涂层及多种复合材料涂层生产场景。
FCVA 混合式直列系统与传统批量镀膜系统有何区别？
直列系统通过多腔体连续运行与模块化配置，实现更高吞吐量与更稳定的工艺控制，相较传统批量系统，更适合大规模、连续化生产需求。
系统如何确保涂层的高均匀性与稳定性？
每个工艺腔体均配置 FCVA 源并可结合线性或旋转溅射源，通过等离子体沉积与精确工艺控制，实现致密、均匀且一致性优异的涂层质量。
系统是否支持定制化配置？
支持。系统采用模块化设计，可根据产能需求灵活增减腔体数量，并支持基材载台、溅射源配置及工艺参数的定制，以满足不同应用需求。
FCVA 混合式直列系统的运行稳定性如何？
系统设计支持连续稳定运行超过 72 小时，并配备大尺寸真空闸阀与人性化控制界面，确保高负载工况下的可靠性与生产稳定性。